硅及先进半导体材料全国重点实验室(原名:硅材料国家重点实验室、高纯硅及硅烷国家重点实验室)于1985年开始建设,1987年建成对外开放,是我国最早建设的国家重点实验室之一。2022年年底,实验室通过全国重点实验室重组为“硅及先进半导体材料全国重点实验室”。实验室主要依托浙江大学材料科学与工程学院(材料科学与工程国家一级重点学科、“双一流”建设学科),以及材料物理与化学(原名半导体材料)、材料学、凝聚态物理等国家二级重点学科,是我国硅及先进半导体材料基础研究、技术开发和人才培养的主要基地之一。自1985年以来,实验室得到党和国家等各级领导的关怀。2024年入选浙江省科学家精神教育基地。